非接触在线式太阳电池硅片量测仪
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♦ 非接触式电容感应量测方式
♦ 最小刻度为0.1μm，重复性误差0.25μm
♦ 可量测厚度、TTV、电阻率、P/N
♦ 可搭配全自动In-Line量测
♦ 产能大于3,600 wafer/hr (依传送速度而定)
冲成股份有限公司 / JC's Chunson Limited
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